1.zygo白光干涉儀環不圓。

原因：

(1)倒轉分光膜。

二是兩組出射光瞳不正。

(3)分光板、補償板、活動鏡和參考鏡具有壓應力。

維護方法：分光板膜層應為入射光的第二面，如安裝在一面，調出的等傾干圓涉環為直橢圓形干涉環，可旋松分光板的三個寬頭螺釘，取出分光板，將三個寬頭螺釘旋至原來的壓力。請參考分光板的故障維護方法。補償板寬頭螺釘、移動鏡和參考鏡的調節滾花螺釘壓力過大，使各鏡片逐漸變形產生等傾干涉環不規則，適當松開過緊螺釘即可消除。

2.zygo白光干涉儀空間大于0.03毫米。

原因：

(1)傳動螺母與螺桿的配合間隙較大。

(2)拖板體下的頂塊間隙較大。

三、zygo白光干涉儀檔板與導軌配合過松。

維護方法：首先可調整頂塊間隙，使拖板體內的旋松塊螺釘處于工作狀態，左手拇指將拖板體輕推至讀數頭方向，中指按壓頂塊，然后固定。如果還沒有達到要求，調整檔板和導軌之間的間隙可達0.02mm，然后調整傳動螺母上的兩個螺釘(舊產品有四個)。

轉動粗手輪時，請勿移動拖板。

原因：

(1)儀器受到強烈沖擊后，螺桿從尾架上脫落，導致讀數頭嚙合齒輪錯位。

(2)傳動小齒輪的緊固螺母松動，導致傳動小齒輪與螺摩擦。

(3)松開大齒輪和粗動輪的壓緊螺母。

維護方法:首先檢查粗動輪壓緊螺母，然后檢查精密螺釘是否向尾架方向脫落。如果已經脫落，可以松開尾架的三個螺釘，將螺釘推入讀數頭，然后慢慢擰緊三個螺釘。如果是小齒輪固定螺母，將螺釘推入讀數頭，然后慢慢擰緊螺母，再擰緊尾架的三個螺釘。如果是小齒輪固定螺母，應先拆下螺母。