白光干涉儀現階段在三d檢驗行業是精密度最大的檢測儀器之一，在同樣系統軟件變大倍數下檢驗精密度和反復精密度都高過共聚焦光學顯微鏡和聚焦點成像顯微鏡，在一些納米和亞納米的超精密機械加工行業，除開白光干涉儀，其他的儀器設備沒法做到其測量精度規定。

白光干涉儀精確測量基本原理

白光干涉儀是運用電子光學干預基本原理新產品研發的超高精密表層輪廓測量儀器。照明燈具光線經半反半透分光鏡分威兩束光，各自投影到試品表層和參照鏡表層。從2個表層反射面的兩束光再度根據分光鏡后生成一束光，并由顯像系統軟件在CCD相機光感應面產生2個累加的像。因為兩束光互相干預，在CCD相機光感應面會觀查到明暗交界線兩色的干涉條紋。干涉條紋的色度在于兩束光的光程差，依據白光干涉花紋明暗交界線度及其干涉條紋出現的部位分析出被測試品的絕對高度。

白光干涉儀的精確測量運用

以精確測量單刻度階梯為倒，在查驗儀器設備的各線連接頭都精確插到相匹配插口后，打開儀器設備電源總開關，起動電子計算機，將單刻度階梯產品工件置放在載物臺正中間部位，先手動式調節載物臺大約部位，指向白光干涉儀目鏡的正下方。

在電子計算機上開啟白光干涉儀測量系統，在程序界面上設定好目鏡下滑的最低值，再調整攝像鏡頭與被測單刻度階梯表層的間距，調節到電腦屏幕上能夠 見到兩到三條干涉條紋為宜，這時設定好要掃描儀的間距。按開始按鈕，白光干涉儀可全自動開展掃描儀精確測量，精確測量進行后，轉件自動生成3d圖紙像，精確測量工作人員能夠 對3d圖紙像開展數據統計分析，得到被測元器件表層線、面表面粗糙度和輪廊的3D、0D主要參數。

白光干涉儀具備測量精度高、實際操作方便快捷、作用全方位、精確測量主要參數涵蓋面廣的優勢，精確測量單獨高精密元器件的全過程用時2分鐘之內，保證了高款率檢驗。白光干涉儀特有的獨特燈源方式，能夠 普遍適用從光潔到不光滑等各種各樣高精密元器件表層的精確測量。