白光干涉儀現階段在三d檢驗行業是精密度zui高的檢測儀器之一，在同樣系統軟件變大倍數下檢驗精密度和反復精密度都高過共聚焦光學顯微鏡和聚焦點成像顯微鏡，在一些納米和亞納米的超精密機械加工行業，除開白光干涉儀，其他的儀器設備沒法做到其加工精度規定。

白光干涉儀基本概念：

是用以對各種各樣高精密元器件表層開展納米精確測量的儀器設備，它是以白光干涉技術性為基本原理，燈源傳出的光歷經擴束鏡自準直后經分光儀棱鏡后分為兩束，一束經被測表層反射面回家，此外一束光經參照鏡反射面，兩束折射光終聚集并產生干預，光學顯微鏡將被測表層的外貌特點轉換為干涉條紋數據信號，根據精確測量干涉條紋的轉變來精確測量表層三維外貌。

白光干涉儀商品主要用途：

融合顯微鏡與白光干涉儀作用的掃描式白光干涉光學顯微鏡，融合顯微鏡物鏡與干涉儀、不用繁雜光調節程序流程，兼具體型小、納米技術屏幕分辨率、易懂實用等優勢，可出示豎直掃描儀高寬比達400um的微三維測量，合適各種各樣原材料與微部件表層特點和微規格檢驗。

白光干涉儀的精確測量運用：

以精確測量單刻度樓梯為例子，在查驗儀器設備的各線連接頭都精確插進相匹配插口后，打開儀器設備電源總開關，起動電子計算機，將單刻度樓梯產品工件置放在載物臺正中間部位，先手動式調節載物臺大約部位，指向白光干涉儀目鏡的正下方。

白光干涉儀的特性：

1、非接觸式精確測量：防止物品損傷。

2、三維表層精確測量：表層高寬比檢測范圍為1nm---200μm。

3、多種視線眼鏡片：便捷物鏡的迅速轉換。

4、納米屏幕分辨率：豎直屏幕分辨率能夠達0.1nm。

5、髙速數據信號轉換器：完成精確測量僅需幾秒。

6、掃描機：閉環控制系統系統軟件。

7、操作臺：氣動式設備、抗震等級、抗壓強度。

8、測量系統：根據windows電腦操作系統的操作界面，強勁而迅速的計算。