光學干涉測量法做為一種關鍵的非觸碰表層三維外貌精確測量方式，具備沒有受損的、效率高的特性，一直以來自始至終是世界各國高精密精確測量行業的科學研究網絡熱點。攜帶式電子光學表層三維外貌在線監測儀便是根據電子光學干預測量方法設計方案的超光潔表層三維外貌測試儀器，以處理機械設備、微電子技術、電子光學等行業超精密機械加工元器件的高精密線上迅速大批量檢驗難題，比如超大型集成電路芯片晶元、LED藍色寶石襯底等元器件的生產制造檢驗，可運用在集成ic、LED、微機械設備、微電子光學、航天航空用電子光學陀螺圖片、強激光器、天文望遠鏡等生產制造與科學研究行業。因為通用性的電子光學表層三維外貌檢查儀容積很大，其激光光路系統軟件和三維調節載物臺是分離的，借助懸壁構造將二者相互連接。這類構造可得到很大豎向檢測范圍，但儀器設備受震動和氣旋危害挺大，可靠性不夠，必須配上抗震服務平臺或選用別的繁雜的抗震對策，這就大大增加了儀器設備產品研發成本費。加上選用傳統式的精確測量臺總體設計，被測件放置儀器設備的干預精確測量物鏡和載物臺中間，限定了被測件的橫著規格，沒法完成對大口徑光電器件表層的檢驗。綜合性之上要素，該類儀器設備只有用以試驗室檢驗，不能滿足工業化生產中自動測量的規定。本著作選用激光光路、機械設備、電源電路和手機軟件優化算法的一體化和一體化技術性，提升了系統軟件可靠性和抗干擾性；選用背測式技術性，擺脫了被測件規格限定；選用重合均值移相干預精確測量技術性，確保了檢測精密度。本著作應用性強，應用領域廣，具備擺脫海外技術性壟斷性，完成技術革新的特性。本著作關鍵研究方向及成效包含：應用短相關LED干預顯像技術性，提升顯像品質；根據干涉條紋飽和度轉變選中好取樣區段，減少了系統偏差；提升了銑機體系結構和電源電路操縱，提升了系統軟件的便攜式和可靠性；應用背測式構造，載物臺坐落于物鏡和被測面中間，進而對被測面規格無規格限定；應用了重合均值移相干預精確測量技術性，將干預測量精度提升到亞納米技術重量級；開發設計了一套集PZT移相、CCD收集揉面形測算剖析于一體的手機軟件，將現場采樣縮小到10秒左右之內。