白光干涉儀現階段在3D檢驗行業是精密度最大的檢測儀器之一，在同樣系統軟件變大倍數下檢驗精密度和反復精密度都高過共聚焦顯微鏡和聚焦點顯像光學顯微鏡，在一些氧化硅和亞氧化硅的超精密機械加工行業，除開白光干涉儀，其他的儀器設備沒法做到其精確測量精密度規定。

白光干涉儀精確測量基本原理：

白光干涉儀是運用電子光學干預基本原理新產品研發的超高精密表層輪廓測量儀器。照明燈具光線經半反半透分光鏡分威兩束光，各自投影到試品表層和參照鏡表層。從2個表層反射面的兩束光再度根據分光鏡后生成一束光，并由顯像系統軟件在CCD照相機光感應面產生2個累加的像。因為兩束光互相干預，在CCD照相機光感應面能觀查到明暗交界線兩色的干預花紋。干預花紋的色度在于兩束光的光程差，依據白光干涉花紋明暗度及其干預花紋出現的部位分析出被測試品的絕對高度。

白光干涉儀的精確測量運用：

以精確測量單刻線樓梯為倒，在查驗儀器設備的各線連接頭都精確插進相匹配插口后，打開儀器設備電源總開關，起動電子計算機，將單刻線樓梯鋼件置放在載物臺正中間部位，先手動式調節載物臺大約部位，指向白光干涉儀目鏡的正下方。

在電子計算機上開啟白光干涉儀測量系統，在程序界面上設定好目鏡下滑的底點，再調整攝像鏡頭與待測單刻線樓梯表層的間距，調節到電腦屏幕上能夠看見兩到三條干預花紋為宜，這時設定好要掃描儀的間距。按剛開始按鍵，白光干涉儀可全自動開展掃描儀精確測量，精確測量進行后，轉件全自動轉化成3D圖象，精確測量工作人員能夠對3D圖象開展數據統計分析，得到被測元器件表層線、面表面粗糙度和輪廊的2D、0D主要參數。

白光干涉儀具備精確測量高精度、實際操作方便快捷、作用全方位、精確測量主要參數涵蓋面廣的優勢，精確測量單獨高精密元器件的全過程耗時2分鐘之內，保證了高款率檢驗。白光干涉儀特有的獨特燈源方式，能夠普遍適用從光潔到不光滑等各種各樣高精密元器件表層的精確測量